学历：研究生 学位：博士

职称/导师类别：教授 博导

毕业学校：哈尔滨工业大学

学科专业：机械电子工程

主要研究

方向

纳米级微驱动及微纳操作机器人

微流控与微系统技术

智能传感器

科研工作简历

在微纳制造装备方面：针对集成电路三维、异质集成封装发展对高精度装备的迫切需求，开展了基于压电陶瓷驱动的纳米级精密定位技术研究，建立了大行程柔性铰链的数值计算方法，开发了基于粘滑驱动的跨尺度定位平台、大范围高速高精度定位平台；研制了基于MEMS的微型夹持器、基于3D打印的可调姿态夹持器、基于压电驱动的精密微夹持器，实现了微纳器件的稳定抓取；开发了基于液态透镜的显微视觉系统，实现了基于强化学习的显微镜连续变倍和高效自动调焦；开发了基于多能场耦合作用的芯片封装工艺，实现了低温、低应力、高性能封装；采用光机电系统集成技术，开发了系列化封装、测试装备，研制了国内首条汽车胎压传感器封装测试产线，在国内主要MEMS研发单位、军工院所、上市公司实现应用，直接经济效益近亿元。研制了国内第一台微装配机器人，开发了微型加速度计装配系统、激光陀螺调腔机器人、光纤陀螺熔融拉锥机器人等多套微操作系统，在航空618所、绵阳核九院、超高速研究所等国家重要科学工程中实现应用。作为负责人，承担国家863重大专项“典型MEMS器件批量化封装与测试关键装备研发及应用”、国家重点研发计划重大项目“飞机故障预测与健康管理成套传感器及应用”，国家重点研发计划项目课题“低应力无引线封装工艺与特种装备”。获得国家技术发明二等奖1项，黑龙江省技术发明一等奖2项，教育部技术发明二等奖1项。

在可穿戴微系统方面：提出了基于液滴微流控的汗液成分多参数并行检测方法，解决了低电压驱动数字微流控芯片、微量汗液快速收集机理、汗液成分快速准确测量等技术难题，开发了可穿戴汗液传感器，实现了囊性纤维化疾病诊断以及运动员健康状态评估等应用。提出基于激光诱导石墨烯的柔性高灵敏压力传感器和电容传感器的设计，通过人工智能技术的辅助，开发了硬度检测传感器微系统，实现了硬皮病的诊断。目前承担国家自然基金面上项目，并在国际著名期刊“Advanced Function Material”（影响因子19.6）、Chemical Engineering Journal（影响因子15.1）等发表论文10余篇，得到了国际学者的广泛关注。

学术成果（论文、著作、获奖、专利等情况）

一、发表论文及著作：近五年以第一作者或通讯作者在本学科核心刊物上论文五十余篇。

部分代表作如下：

1.Al-Enabled Adaptive Eutectogel Skin for Effective Motion Monitoring with Low Signal Artifacts，2025，ADVANCED FUNCTIONAL MATERIALS，SCI，共同通讯；

2.Multilevel nanostructured pressure sensor for object recognition with Deep-Learning assistance: A strategy for high sensitivity and wide detection range，2024，Chemical Engineering Journal，SCI，独立通讯；

3.Precision autofocus in optical microscopy with liquid lenses controlled by deep reinforcement learning，2024，Microsystems & Nanoengineering，SCI，独立通讯；

4.Lattice Matching Engineering Driven Growth of Large-Area 2D CeO2 for High-Performance Photodetection，2023，ADVANCED MATERIALS INTERFACES，SCI，共同通讯；

5.A Single-Step-Grown Semiconducting vdW Heterostructure of Tungsten Oxide–Sulfide for High-Performance Photodetection，2022，ADVANCED FUNCTIONAL MATERIALS，SCI，共同通讯；

6.A Wearable Electrowetting on Dielectrics Sensor for Real-Time Human Sweat Monitor by Triboelectric Field Regulation，2022，ADVANCED FUNCTIONAL MATERIALS，SCI，共同通讯；

7.Recent Advances toward Wearable Sweat Monitoring Systems，2022，ADVANCED MATERIALS TECHNOLOGIES，SCI，共同通讯；

8.Optimized design of a compact multi-stage displacement amplification mechanism with enhanced efficiency，2022，SCI，共同通讯；

9.Novel electrodes for precise and accurate droplet dispensing and splitting in digital microfluidics，2021，Nanotechnology Reviews，SCI，独立通讯。

二、获奖情况：

1.江苏省科学技术厅科学技术奖三等奖：《大型薄壁结构件高性能搅拌摩擦焊接装备研发及产业化》，2024，排名1/7；

2.中国商业联合会科学技术奖全国商业科技进步三等奖：《基于人工智能的工业智能检测系统开发与应用》，2021，排名10/12；

3.教育部技术发明二等奖：《高性能微纳传感器批量化封装测试装备研发及应用》，2016，排名2/5；

4.江苏省科技进步三等奖：《特种/极端环境高动态MEMS压力传感器研发及产业化》，2014，排名2/5；

5.黑龙江省技术发明二等奖：《典型微小尺寸器件操作的关键技术与设备》，2012，排名4/4；

6.国家技术发明二等奖：《纳米级精密定位及微操作机器人关键技术》，2007，排名5/5；

7.黑龙江省技术发明一等奖：《面向MEMS组装、封装及键合测试的关键关键微操作设备》，2007，排名2/12；

8.黑龙江省技术发明一等奖：《纳米级微驱动及微操作机器人关键技术的研究》，2005，排名4/10。

三、授权发明专利：近五年共获授权发明专利三十余项，部分专利明细如下：

1.可穿戴式无源的汗液检测装置，国内发明专利，授权号：ZL202210488546.0；

2.一种用于MEMS摩阻传感器封装的多通道吸附装置，国内发明专利，授权号：ZL202110135200.8；

3.基于液滴自驱动技术的胚胎动态培养装置及方法，国内发明专利，授权号：ZL202111589839.X；

4.开放式柔性数字微流控芯片及其制作方法和控制装置，国内发明专利，授权号：ZL202111414098.1；

5.WEARABLE PASSIVE SWEAT DETECTION DEVICE（可穿戴式被动汗液检测设备），国外发明专利，授权号：US 11,737,702 B1；

6.一种平面微型线圈电磁微夹持器，国内发明专利，授权号：ZL 2021 1 1522455.6；

7.一种高温硅压力传感器立体式封装设备，国内发明专利，授权号：ZL202011494153.8；

8.电机缺陷的检测方法，国内发明专利，授权号：ZL202011498701.4；

9.液滴无损转移装置及方法、液滴微反应方法，国内发明专利，授权号：ZL202010678313.8；

10.用于复合型数字微流控芯片的液滴驱动方法及装置，国内发明专利，授权号：ZL 2018 1 0774278.2；

11.切比雪夫微带阵列天线的设计方法，国内发明专利，授权号：ZL 2018 1 1119354.2；

12.基于偏差转移和拆分的汽车360°环视图像拼接方法，国内发明专利，授权号：ZL201710011273.X。

四、获人才及荣誉称号：

1.江苏省新世纪优秀人才支持计划（2013）

2.江苏省双创(2011)

3.江苏省“333高层次人才培养工程”第三层次培养对象（2011）

五、其他：

1.中国微米纳米技术学会生物微机电系统技术分会第一届理事会理事，2023.09至今；

2.中国微米纳米技术学会特种微纳器件与系统分会理事，2023.04至今；

3.中国自动化学会第一届空间无人系统自主运行技术专委会委员，2022.12至今；

4.中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会第三届理事会理事，2019.05至今；

5.中国机械工程学会微纳制造技术分会第二届委员会委员，2018.11-2022.11；

6.《测试科学与仪器》委员，2018.07-2021.07；

7.《振动、测试与诊断》编委，2016.10至今。

在研项目

国家自然科学基金面上项目“基于可穿戴数字微流控的汗液成分多参数并行检测方法研究”，2023/01-2026/12，主持

国家173专项“*******”，2023/06-2027/06，参与

横向项目“高精度芯片-晶圆对准键合技术研究”，2025/11-2028.11，主持

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