报告嘉宾: 周维虎 中国科学院微电子研究所 正高级工程师
报告题目：集成电路量测技术发展现状及趋势
报告时间：2026年9月21日（星期一）10:30
报告地点：苏州大学阳澄湖校区行政楼218会议室
专家简介：周维虎，中国科学院微电子研究所正高级工程师、光电技术研发中心主任。长期从事光电精密测量技术与系统、集成电路光学检测技术、大尺寸测量技术与系统、精密仪器研究与开发，主持国家科学仪器重大专项等国家级项目，研制“新型飞秒激光跟踪仪”等系统，获中国机械工业科技奖技术发明特等奖（排名第一），发表论文百余篇，起草国家标准多部，曾任全国光电测量标准化技术委员会秘书长，现任副主任委员。
