面向纳米器件制造与检测，微纳材料的表征与评价等重大科学技术需求，发明了多自由度并联微动机构、宏微双重驱动并联机构，实现了厘米级行程、纳米级定位精度。
提出了多能场耦合微纳驱动控制方法，突破了微纳制造中三维组装、纳米互连、原位检测关键技术，研制了AFM与SEM纳米操作机器人系统，为微纳制造与生命科学提供了技术与装备支持。
获得国家自然科学基金重大仪器研制课题《面向生命科学的原位显微分析与操作仪》、《脑机接口超微柔性神经电极低侵袭植入微操作机器人系统》等项目支持。
获批“2022中国智能制造十大科技进展”奖励。
面向微纳器件芯片的批量化制造与封装集成需求，开发系列化微纳传感制备工艺与封装测试装备，包括基于介质阻挡放电的阳极键合工艺及装备、高温压力传感器无引线封装、充油封装工艺及装备等。
开发了汽车压力传感器高强度柔性引线键合工艺及装备，实现首条汽车胎压传感器全自动生产线示范应用。
获得国家重点研发计划《飞机故障预测与健康管理成套传感器及应用》、《高温硅压力传感器关键技术研究及应用》牵头、《巨量转移系统多源误差测量与补偿技术》等项目支持。
