机器人与微系统研究中心

潘明强

时间:2016-06-08来源:机电学院点击:1827

机电工程学院个人科研情况简表

机电工程学院 机器人与微系统研究中心

姓名:潘明强

性别:男

出生年月:1982.6

学历:博士研究生  学位:工学博士

职称/导师类别: 副教授

毕业学校:哈尔滨工业大学

学科专业:机械制造及其自动化

主要研究

方向

1.微纳传感器封装测试工艺技术与装备

2.精密自动化操作技术与系统集成

3.等离子体界表面改性与微结构制造

科研工作简历

多年来一直围绕微纳传感器制造、封装测试、等离子体微纳结构制造等方向展开工作。研究内容包括高性能微纳器件面键合与线键合封装工艺与装备,液中/大气下等离子体界表面改性与微纳结构制造。基于空气中等离子体活化技术提出高性能微纳器件封装方法,解决了普通环境下的低温键合工艺方法;针对高密度集成封装的应用需求,基于机器视觉技术与自动控制技术融合提出了三维引线键合工艺解决方案在多家单位获得实际应用;基于液中等离子体改性提出气敏材料表面的微纳结构调控方法,开发新的气敏材料制造方法。获得教育部科技进步二等奖1项,先后主持和参与国家“863”计划项目3项,国家重大仪器专项1项,国家自然科学基金项目6项,国防预研基金项目1项,江苏省产学研项目1项。

学术成果

(论文、著作、获奖、专利等情况)


迄今已发表论文60余篇,其中SCI/EI收录40余篇,申请专利60余项,其中发明专利40余项,授权发明专利30余项,发明专利转让近10项。

在研项目

1. “863”计划重点项目典型MEMS 器件批量化封装与测试关键装备研发及应用子课题高性能MEMS封装关键装备的研究。(2012AA040404)。

2. 国家青年自然科学基金项目基于介质阻挡放电的高效低温阳极键合机理及方法研究61106110)。

3. 国家仪器专项子项目项目"红外热像仪在MEMS晶圆键合中的应用测试"(2013YQ47076708)

4. 国防预研基金项目"基于原位磁控等离子活化的低温阳极键合机理及调控方法"(JW30001)

5. 江苏省产学研联合创新资金项目"压力传感器深腔引线封装工艺设备开发"(SBY201220252)

6. 国家自然科学基金面向上项目"脉动微流体跨尺度驱动与传输机理高精度闭环控方法研究"(51275327)


需 求

物理化学、机械电子、电子、计算机等专业研究生

联系方式

邮件:pmqwl@126.com

                                                   20191228